Il corso si propone di fornire allo studente una panoramica delle tecnologie di fabbricazione, dei principi di funzionamento e delle applicazioni dei sistemi micro-elettro-meccanici (MEMS) e micro-opto-elettro-meccanici (MOEMS) su silicio, considerando anche aspetti di caratterizzazione sperimentale di MEMS e MOEMS, nonché dell’interfacciamento con l’elettronica di elaborazione.
- Enseignant: VALERIO ANNOVAZZI LODI
- Enseignant: FABIO CARLI
- Enseignant: PIERO MALCOVATI
- Enseignant: SABINA GIOVANNA MERLO