Il corso si propone di fornire allo studente una panoramica delle tecnologie di fabbricazione, dei principi di funzionamento e delle applicazioni dei sistemi micro-elettro-meccanici (MEMS) e micro-opto-elettro-meccanici (MOEMS) su silicio, considerando anche aspetti di caratterizzazione sperimentale di MEMS e MOEMS, nonché dell’interfacciamento con l’elettronica di elaborazione.
- Profesor: VALERIO ANNOVAZZI LODI
- Profesor: FABIO CARLI
- Profesor: PIERO MALCOVATI
- Profesor: SABINA GIOVANNA MERLO